三氯氧磷(Phosphorus oxychloride）又称磷酰氯(Phosphoryl chloride)、氧氯化磷。分子式POCI3，相对分子质量153.33。
1．产品性能
无色透明发烟液体。凝固点2℃，沸点105.3℃。相对密度1.675。易挥发，有强烈的刺激气味。露于潮湿空气中，水解为磷酸和氯化氢，产生白烟。易被水和乙醇分解，并放出大量热和氯化氢。有强腐蚀性。
2．生产方法
PC13+C12+H2O→POCI3+2HCI
(2)三氯化磷氧化法 用干燥的氧气与三氯化磷作用生成三氯氧磷。
2PC13+O2→2POC13
(3)五氯化磷合成法 由五氧化二磷与五氯化磷作用制得。
P205+3PCI5→5POC13
(4)三氯化磷合成法 由三氯化磷和氯酸钾反应，得到三氯氧磷。
3PC13+KC103→3POC13+KC1
工业生产多采用氯化水解法。
3．工艺流程
(1)氯化水解法
(2)三氯化磷合成法
4．技术配方
5．生产工艺
(1)氯化水解法 在1OOOL的夹层反应釜中，加入1300kg PC13，然后滴水并通氯，加水量为：PCl3质量×0.13；通氯量为：PC13质量×0.516。控制氯气与水的比在3.97左右。通氯及滴水速度分别为25-35kg/h和6.25-8.8kg/h。氯气与三氯化磷作用生成五氯化磷，生成的五氯化磷水解生成三氯氧磷和氯化氢。氯化氢用水吸收得到副产物盐酸。
当氯气和水量加足后，即可用夹套蒸汽加热（105-109℃)，使反应器内反应物气化，经空塔冷凝器冷凝后，再全部回流入反应器中。然后二次通氯，以继续氯化残存的三氯化磷。当回流至反应物色泽洁白且三氯化磷残存量在0.2％以下时，即可由冷凝器直接导出作为成品。
(2)三氯化磷合成法 在装有回流冷凝器的反应器中，加入200g三氯化磷，慢慢加入研细的氯酸钾，每次0.5-1.Og，共加入66g。反应剧烈进行。反应完毕，蒸馏收集沸点105-108℃馏分得三氯氧磷。
6．产品标准（％）
7．产品用途
在电子工业用于半导体生产的外延、扩散工序，用作半导体掺杂源及光导纤维材料。也用作制药工业的氯化剂和催化剂。
